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KOFLOC小島**質(zhì)量流量控制器 MODEL 3200 SERIES
產(chǎn)品型號:MODEL 3200 SERIES蘇州
產(chǎn)品品牌:KOFLOC小島
產(chǎn)品介紹:

科賦樂從創(chuàng)業(yè)至今已有60 多年的歷史,深入挖掘人類的智慧,不斷深入技術(shù)**,尤其在氣體的測量、控制方面贏得社會各界的信賴近年來,又開發(fā)出液體測量控制方面的新設備,作為流體(氣體液體)界專家的科賦樂,重視匠人的精神,貼近客戶的需求,以創(chuàng)建豐富的地球環(huán)境為目標不斷迎接挑戰(zhàn)。

詳細介紹

**質(zhì)量流量控制器

MODEL 3200 SERIES

MODEL 3200系列是新型質(zhì)量流量控制器,是3910系列的后續(xù)產(chǎn)品,已在半導體,液晶,燃燒,分析和生物等廣泛領(lǐng)域得到驗證。
它是一種適用于新Cofflock標準的高性能型號。

  • 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器,實現(xiàn)高精度,高速響應
  • 采用常閉閥門,方向操作**
  • 采用隔膜閥,減少死體積
  • F.1. SCCM分鐘流量支持(SR選項)
  • 低壓差兼容燃氣控制(LP選項)

標準規(guī)格

流量范圍
(N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM)
1SCCM~20SLM(任意條件選擇)
傳感器方式 熱繞組傳感器
閥門方法 比例螺線管閥門(未通電時關(guān)閉)
控制范圍 2~100%(F.S.)
響應速度 1秒內(nèi)(±2%FS內(nèi))
準確性 ±1%FS(15~35°C)
再現(xiàn)性 ±0.2%F.S.
操作壓差范圍 F.S.≤5SLM 50. 300 kPa(G)
F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa(G)
選項:低壓差規(guī)格(LP)可根據(jù)條件制造
可工作壓力 300kPa(G)以下
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率(* 1) 1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度 0~50℃
允許環(huán)境濕度 10~90%RH(無結(jié)露)
氣體接觸材料 車身SUS316L
隔膜SUS316
閥座PTFE
電氣連接 Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準)
流量設定
輸入信號
0~5VDC
(輸入阻抗1MΩ以上)
流量輸出信號 0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上)
所需電源 +15 VDC(±5%)100 mA,-15 VDC(±5%)200 mA
配件(車身尺寸) 標準1 / 4F 900(9 / 16.18 UNF)
選項1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等
重量 約1000g

(* 1)不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格(流量范圍,精度,響應性等)是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外,生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa,次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件,請另行咨詢。





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