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日本KOSAKA小坂半導(dǎo)體輪廓形狀測(cè)量機(jī)EF550A
產(chǎn)品型號(hào):半導(dǎo)體行業(yè)EF550A輪廓形狀測(cè)量機(jī)珠海
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號(hào),開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測(cè)量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動(dòng)包裝機(jī)等自動(dòng)設(shè)備三個(gè)領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹


株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設(shè)備特點(diǎn):

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。


KOSAKA小坂粗糙度儀,粗度計(jì),粗度儀EF800、SE800、3D

KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)  SEF580A、EF800.    SEF580A-G18D

KOSAKA小壇輪廓儀   EF550A、EF800

KOSAKA小坂臺(tái)階儀,膜厚儀,薄膜測(cè)厚儀KOSAKA小坂圓度儀,真圓度儀,圓柱度儀 

KOSAKA小坂測(cè)量?jī)x配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測(cè)量裝置

KOSAKA小坂微細(xì)深孔測(cè)量裝置ET200A  、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圓檢測(cè)裝置

KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測(cè)量?jī)x

KOSAKA小坂探針卡檢測(cè)設(shè)備

KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)SS-N21    SS-L    SS-G41   SS-C   SS-R  SS-B

KOSAKA小坂傳感器


配備分析宏,支持節(jié)省復(fù)雜分析工作的人力。


  • 它是一種具有高度便攜性和安裝自由度的測(cè)量機(jī)。
  • 通過實(shí)時(shí)輸出功能,可以獲得測(cè)量的放大形狀數(shù)據(jù)。
  • 通過連接到輪廓形狀分析系統(tǒng),可以進(jìn)行更**的分析。
測(cè)量精度 Z:±(2.5+0.5×|H|) μm 或更小 H:位移 (mm) X
:± (2.5 + 0.02 L) μm 或更小 L:測(cè)量長(zhǎng)度 (mm)
分辨率 Z:0.25 μm X 刻度:0.1 μm
采樣數(shù)/*小間隔 *大 64,000 點(diǎn) / *小 0.5μm
測(cè)量范圍 Z:30mm X:50mm
顯示放大率 垂直 (Z)、水平 (X):1~2,000 次