株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
KOSAKA小坂粗糙度儀,粗度計(jì),粗度儀EF800、SE800、3D
KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī) SEF580A、EF800. SEF580A-G18D
KOSAKA小壇輪廓儀 EF550A、EF800
KOSAKA小坂臺階儀,膜厚儀,薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀,真圓度儀,圓柱度儀
KOSAKA小坂測量儀配件
KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置
KOSAKA小坂微細(xì)深孔測量裝置ET200A 、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置
KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測量儀
KOSAKA小坂探針卡檢測設(shè)備
KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)SS-N21 SS-L SS-G41 SS-C SS-R SS-B
KOSAKA小坂傳感器
非接觸式測量允許在不損壞樣品的情況下進(jìn)行測量。 緊湊的光學(xué)布置可實(shí)現(xiàn)內(nèi)徑的表面紋理測量,這是現(xiàn)有非接觸式探測器難以實(shí)現(xiàn)的。
測量范圍 | 12~500微米 |
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分辨率 | 0.2~0.5納米 |
光斑直徑在測量范圍內(nèi) | 約 1~25μm |
測量精度 | 1%+0.03微米 |
重復(fù)性 | 10 納米 |
激光 | *大輸出 2 mW,635 nm,1 級 (JIS C 6802:2011) |