HORIBA堀場(chǎng)集團(tuán)向各行業(yè)領(lǐng)域提供高品質(zhì)的分析與測(cè)試儀器，49家分公司遍布全球27個(gè)國(guó)家。 

我們的業(yè)務(wù)涉及汽車測(cè)試、科學(xué)儀器、過(guò)程和環(huán)境儀器、體外診斷和半導(dǎo)體儀器等。我們已在全球市場(chǎng)展示出自己的優(yōu)勢(shì)，尤其在汽車排放和煙道氣測(cè)量、空氣污染、水污染監(jiān)控、不同行業(yè)的質(zhì)控以及臨床診斷等領(lǐng)域。過(guò)去幾年來(lái)，我們?nèi)〉昧碎L(zhǎng)足發(fā)展。讓我們感到高興和自豪的是，我們的分析和測(cè)量業(yè)務(wù)為全球的環(huán)保、**和健康事業(yè)做出貢獻(xiàn)，并為解決能源問(wèn)題助一臂之力。我認(rèn)為正是這種自豪感促使我們提供更具競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品。 

擁有自豪感和勇于挑戰(zhàn)的精神，以充沛的體力和激情投入到工作中去，譜寫一個(gè)更加令人滿意的人生。我們將更加快樂(lè)過(guò)好每**的愿望融入企業(yè)哲學(xué)，這一精神自企業(yè)創(chuàng)建以來(lái)一直代代相傳。遍布全球的大約7,000名堀場(chǎng)人（這樣稱呼的原因是我們把堀場(chǎng)集團(tuán)的所有員工都看成是一家人）是我們企業(yè)發(fā)展的源泉，他們能夠正確理解“新奇、有趣”這一企業(yè)哲學(xué)，并在日常工作和生活中很好地貫徹。 

我們將一如既往地以自豪的態(tài)度和勇于迎接挑戰(zhàn)的精神為社會(huì)做出貢獻(xiàn)。 

橢圓偏振光譜儀

薄膜表征的有效技術(shù)

浙江總供HORIBA堀場(chǎng)在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ

在線監(jiān)控橢偏儀

UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過(guò)程。

UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動(dòng)態(tài)范圍寬和準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過(guò)程速度比較快也可實(shí)現(xiàn)。

采用新型適配器組件可以實(shí)現(xiàn)臺(tái)式設(shè)備和在線系統(tǒng)的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅(qū)動(dòng)，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多先進(jìn)的建模和擬合處理功能，操作界面簡(jiǎn)單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。先進(jìn)的通訊協(xié)議，TCP/IP和RS232已被設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM。

• 高速、準(zhǔn)確
• 完整集成了實(shí)時(shí)測(cè)量、建模和報(bào)告軟件包
• 便于在線和離線間切換

可獲得的信息

• 薄膜厚度
• 光學(xué)常數(shù)（n,k）
• 材料組成

• 光譜范圍：190-885 nm，可擴(kuò)展至 190-2100 nm
• 光源：75W氙燈或150W氙燈
• 探測(cè)系統(tǒng)：?jiǎn)吸c(diǎn)或?qū)崟r(shí)光譜采集使用高靈敏度，寬動(dòng)態(tài)范圍的PMT探測(cè)器和掃描單色儀，原位監(jiān)控薄膜沉積/蝕刻
• 光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm
• 機(jī)械適配器：CF35或KF40法蘭