HORIBA堀場集團(tuán)向各行業(yè)領(lǐng)域提供高品質(zhì)的分析與測試儀器,49家分公司遍布全球27個(gè)國家。
我們的業(yè)務(wù)涉及汽車測試、科學(xué)儀器、過程和環(huán)境儀器、體外診斷和半導(dǎo)體儀器等。我們已在全球市場展示出自己的優(yōu)勢,尤其在汽車排放和煙道氣測量、空氣污染、水污染監(jiān)控、不同行業(yè)的質(zhì)控以及臨床診斷等領(lǐng)域。過去幾年來,我們?nèi)〉昧碎L足發(fā)展。讓我們感到高興和自豪的是,我們的分析和測量業(yè)務(wù)為全球的環(huán)保、**和健康事業(yè)做出貢獻(xiàn),并為解決能源問題助一臂之力。我認(rèn)為正是這種自豪感促使我們提供更具競爭力的產(chǎn)品。
擁有自豪感和勇于挑戰(zhàn)的精神,以充沛的體力和激情投入到工作中去,譜寫一個(gè)更加令人滿意的人生。我們將更加快樂過好每**的愿望融入企業(yè)哲學(xué),這一精神自企業(yè)創(chuàng)建以來一直代代相傳。遍布全球的大約7,000名堀場人(這樣稱呼的原因是我們把堀場集團(tuán)的所有員工都看成是一家人)是我們企業(yè)發(fā)展的源泉,他們能夠正確理解“新奇、有趣”這一企業(yè)哲學(xué),并在日常工作和生活中很好地貫徹。
我們將一如既往地以自豪的態(tài)度和勇于迎接挑戰(zhàn)的精神為社會做出貢獻(xiàn)。
橢圓偏振光譜儀:UVISEL PLUS橢圓偏振光譜儀//Auto SE - 自動化薄膜測量工具//Smart SE- 功能強(qiáng)大,高性價(jià)比橢偏儀//UVISEL 2 VUV真空紫外橢偏儀//UVISEL Plus In-Situ在線監(jiān)控橢偏儀//在線橢偏儀
原裝進(jìn)口HORIBA堀場UVISEL PLUS橢圓偏振光譜儀 國內(nèi)總代各區(qū)域均有售有
研究級經(jīng)典型橢偏儀
光譜范圍從FUV到NIR:190-2100nm
UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為先進(jìn)薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優(yōu)化組合。
UVISEL Plus作為一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型,它采用了PEM 相位調(diào)制技術(shù),與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比, 能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm。
UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術(shù),可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測試(190-2100 nm),校準(zhǔn)僅需幾分鐘?;谌碌碾娮釉O(shè)備,數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,F(xiàn)astAcq技術(shù)能夠?yàn)橛脩籼峁└叻直婕翱焖俚臄?shù)據(jù)采集。FastAcq專門為薄膜表征設(shè)計(jì),雙調(diào)制技術(shù)可以確保您獲得優(yōu)異的測試結(jié)果。
相位調(diào)制技術(shù)的獨(dú)有特點(diǎn)為高頻調(diào)制 50 kHz,信號采集過程無移動部件:
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測試全范圍的橢偏角,Ψ (0-90),Δ (0-360)
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從FUV到NIR具有優(yōu)良的信噪比
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數(shù)據(jù)采集速度快,高達(dá)50毫秒/點(diǎn),是動力學(xué)研究和在線測量的理想選擇
相比于采用 旋轉(zhuǎn)元件調(diào)制的傳統(tǒng)橢圓偏振光譜儀,UVISEL Plus的相位調(diào)制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度。它不僅可以探測到其他橢偏儀無法觀測到的極薄膜或界面,還可以表征50μm的厚膜。
在測試有背反射的透明樣品時(shí),測試簡單、準(zhǔn)確,無需刮花背面。
UVISEL Plus還設(shè)計(jì)有多種附件及可選功能,便于客戶根據(jù)應(yīng)用需求及預(yù)算選擇合適的配置。比如,微光斑用于圖案樣品、自動變角器、自動樣品臺等。
UVISEL Plus采用模塊化設(shè)計(jì),可靈活擴(kuò)展。即可用于離線臺式測量,也可以耦合于鍍膜設(shè)備做在線監(jiān)控。
UVISEL Plus可根據(jù)習(xí)慣選擇操作界面,一個(gè)是 DeltaPsi2 具有建模和擬合處理功能;另一個(gè)是 Auto-Soft 用戶導(dǎo)向的全自動樣品測試界面 ,工作流程直觀,易于非專業(yè)人士操作。
UVISEL Plus搭載FastAcq技術(shù)是材料研究和加工、平板顯示、微電子和光伏領(lǐng)域中優(yōu)選通用光譜型橢偏儀。
UVISEL Plus是材料科學(xué)研究的理想工具。
產(chǎn)品優(yōu)勢
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高精度和高靈敏度
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模塊化設(shè)計(jì)
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寬光譜范圍: 190-2100 nm
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集數(shù)據(jù)測量、建模和自動化操作為一體的軟件包
獲得的信息
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膜層厚度,從1?到50 μm
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表面和界面粗糙度
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光學(xué)常數(shù) (n,k) ,適用于各向同/異性和漸變層
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光學(xué)特性如:吸收系數(shù)α, 光學(xué)帶隙Eg
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材料性能:合金成分、孔隙率、結(jié)晶度及形貌等
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穆勒矩陣
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退偏
UVISEL 規(guī)格
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光譜范圍:標(biāo)配190-885nm,可擴(kuò)展至近紅外2100nm
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檢測系統(tǒng):高分辨率光譜儀配合高靈敏探測器
手動配置
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光斑尺寸:0.05 – 0.1 – 1 mm(針孔)
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樣品臺:直徑150mm,手動調(diào)節(jié)高度(20mm)和傾角
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卡位量角器:手動調(diào)節(jié)角度,從55°到90°,步徑5°
自動配置
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光斑尺寸:0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm(針孔)
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自動樣品平臺:200 x 200mm或300 x 300mm,手動調(diào)節(jié)高度(4mm)和傾角;XYZ樣品臺,theta平臺
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自動量角器:自動調(diào)節(jié)角度,從45°到90°,步徑0.01°
集成型量角器
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手動調(diào)節(jié)入射角度,從35°到90°,步徑5°
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樣品臺:直徑150mm,手動調(diào)節(jié)高度(20mm)
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自動準(zhǔn)直系統(tǒng)(可選)
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尺寸: 25cm*21cm*35cm
在線配置
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機(jī)械適配器:CF35或KF40法蘭
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易于在在線和離線配置間更改
選配
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附件:冷熱臺、液體樣品池、電化學(xué)反應(yīng)池、反射模塊(測試0°入射的反射率)等
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可視化:CCD攝像機(jī)
性能
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準(zhǔn)確度:Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°,空氣對射1.5 - 5.3 eV
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重復(fù)性:NIST 1000? SiO2/Si (190-2100 nm),d±0.1%,n(632.8nm)±0.0001