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ULVAC愛發(fā)科冷陰極電離真空計(jì)VCT技術(shù)
產(chǎn)品型號： VCT技術(shù)
產(chǎn)品品牌：ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品介紹：

ULVAC愛發(fā)科面向顯示器、太陽電池、半導(dǎo)體、電子、電氣、金屬、機(jī)械、汽車、化學(xué)、食品、醫(yī)藥等行業(yè)以及大學(xué)、研究所等，提供真空設(shè)備、周邊機(jī)器、真空部品、材料的開發(fā)、制造、銷售、客戶服務(wù)等，以及各種器械的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。此外，提供各種真空技術(shù)相關(guān)的研究指導(dǎo)和技術(shù)顧問服務(wù)。
詳細(xì)介紹


華東供應(yīng)國內(nèi)總代日本直發(fā)原裝進(jìn)口日本ULVAC愛發(fā)科冷陰極電離真空計(jì)VCT技術(shù)   國內(nèi)各區(qū)域均有售 


G-TRAN系列真空計(jì)是基于（1）降低設(shè)備成本，（2）節(jié)省空間，（3）減少布線的理念開發(fā)的，以實(shí)現(xiàn)各種設(shè)備的過程控制的集中化和小型化。

它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。



長處

  • 測量元件與測量電路的集成結(jié)構(gòu)
  • 模擬和設(shè)定值輸出
  • 獨(dú)立的偽對數(shù)輸出和設(shè)定值輸出（顯示單元）
  • 48 x 96mm DIN 標(biāo)準(zhǔn)尺寸（顯示單元）

用

  • 用于半導(dǎo)體、電子元件等各種制造設(shè)備的過程控制
  • 用于窯爐等各種工業(yè)設(shè)備的過程控制
  • 用于對具有許多工藝室的各種制造設(shè)備進(jìn)行工藝控制，例如直插式和單晶圓型

規(guī)范

類型 傳感器單元
型 VCT技術(shù)
自適應(yīng)測量元件 C-21、23、24、25
測量壓力范圍 1.0×10-5 ~ 1.0 帕
測量精度 +100%， -50%（1.0×10-4 ~ 1.0×10-1）
工作溫度范圍 10 ~ 40°攝氏度
測量值輸出 非線性輸出：DC0V~10V（HV-OFF時(shí)為10V）
SETPOINT1/2 調(diào)節(jié)輸出 非線性輸出：DC0~10V
控制輸入信號 高壓開/關(guān)
輸出信號 集電極開路，負(fù)邏輯
控制輸出信號 放電確認(rèn)/設(shè)定值 1/2
LED指示 電源，高壓，壓力保護(hù)，設(shè)定值 1/2
權(quán)力 DC24V±2V、150mA
輸入/輸出連接器 D-sub - 15 針（M2.6 螺絲）
體重 430g（不含測量元件）
附屬品 1 個(gè) I/O 連接器
快速手冊 1 份

* IO 和模擬 GND 以及電源 GND 不是隔離的。