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國(guó)內(nèi)辦事處日本ULVAC愛發(fā)科沉積電源DC-10-D
產(chǎn)品型號(hào)： DC-10-D
產(chǎn)品品牌：ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品介紹：

ULVAC愛發(fā)科面向顯示器、太陽電池、半導(dǎo)體、電子、電氣、金屬、機(jī)械、汽車、化學(xué)、食品、醫(yī)藥等行業(yè)以及大學(xué)、研究所等，提供真空設(shè)備、周邊機(jī)器、真空部品、材料的開發(fā)、制造、銷售、客戶服務(wù)等，以及各種器械的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。此外，提供各種真空技術(shù)相關(guān)的研究指導(dǎo)和技術(shù)顧問服務(wù)。
詳細(xì)介紹

國(guó)內(nèi)總代原裝進(jìn)口華東總代國(guó)內(nèi)辦事處日本ULVAC愛發(fā)科檢漏儀HELIOT901W1  國(guó)內(nèi)各區(qū)域均有售 


直流電源

它被設(shè)計(jì)為用于濺射的直流電源。 它是一種多功能且穩(wěn)定的電源，融合了包括應(yīng)用在內(nèi)的專有技術(shù)。 我們擁有各種特性的直流電源陣容。

DC-10-D 和 DC-20-D 是用于濺射的直流電源，輸出功率為 10 kW 和 20 kW。 它由可靠的組件和電路組成。 它是一種高度可靠的電源，反映了我們多年來在設(shè)計(jì)中積累的包括電源應(yīng)用在內(nèi)的專有技術(shù)，是等離子負(fù)載的理想選擇。

長(zhǎng)處

  • 廣泛的**選項(xiàng)
  • 輕巧、節(jié)省空間的設(shè)計(jì)
  • 輸出電壓范圍為800V和1000V
  • 通過對(duì)等離子體的透徹了解進(jìn)行輸出控制
  • 強(qiáng)制風(fēng)冷系統(tǒng)，無需冷卻水
  • 配備出色的電弧功能和高速電弧切斷電路
  • *多可并聯(lián)運(yùn)行 12 臺(tái)機(jī)組 （240 kW）
  • 兼容 RoHS、CE、SEMI-F47

用

  • FPD濺射機(jī)
  • 半導(dǎo)體濺射設(shè)備
  • 電子元件濺射機(jī)
  • 工業(yè)鍍膜濺射設(shè)備


規(guī)范

型 DC-10-D型 DC-10-DH型 DC-20-D型 DC-20-DH型
輸入規(guī)格 輸入電壓 AC208V系列
變化范圍 AC187V~229V
相數(shù)、頻率 三相 50/60Hz
輸入連接 連接器
輸入電容 13.5kVA以下 25kVA以下
輸出規(guī)格 *大額定功率 10kW 20kW
額定電流 25安培 28" 50安培 40安培
額定電壓 800伏 1000伏 800伏 1000伏
電弧控制 當(dāng)檢測(cè)到 ARC 時(shí)，低 ARC 電路運(yùn)行和逆變器停止
輸出連接 連接器
控制 控制方式 恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒壓控制（V控制）
功率控制精度 *1 小于額定功率的1~10%：設(shè)定值的±5%以下 額定功率的10%以上：±
額定功率的0.5%以下或設(shè)定值的±1%以下，以較大者為準(zhǔn)。
電源控制保修范圍 *2 額定功率的10-100%（可選：1-100%）
并聯(lián)操作 *3 *多 12 個(gè)單位
外部控制 模擬/數(shù)字、RS-232C、RS-485/EtherCAT *4
冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷
外形尺寸 483 mm （寬） × 630 mm （深） × 133 mm （高）
質(zhì)量 29公斤 36公斤
法規(guī)遵從性 RoHS、CE（EN61000-6-2、EN61000-6-4、EN61010-1）、SEMI F47
工作環(huán)境溫度 5°C~40°C（無凝露） 操作
環(huán)境 避免陽光直射、高溫、灰塵和振動(dòng)，不含腐蝕性氣體。
*1：可選，精度保證在額定值的1-10%范圍內(nèi)。
*2：有輸出電壓的下限和輸出電流的下限。 根據(jù)選項(xiàng)的不同，也可以保證 1% 起。
*3：不允許800V和1000V規(guī)格的組合。
*4：EtherCAT規(guī)格是可選的。 如果您愿意，請(qǐng)與我們聯(lián)系。

可選功能

它提供四種升級(jí)包（或單元）以滿足您的需求，并包括其他直流電源所沒有的獨(dú)特高性能功能。 這是一項(xiàng)新功能，可以解決客戶以前無法解決的工藝問題，并提高膜性能。

1.高性能RAMP
通過在放電前控制輸出（點(diǎn)火操作）來抑制放電開始時(shí)輸出突然變化的功能，并在放電后立即獲得穩(wěn)定狀態(tài)的功能

傳統(tǒng)上，直流電源的RAMP功能一般是放電后的輸出控制。 因此，我們專注于放電前的輸出控制。
通常，輸出是在放電后控制的，因此可能無法獲得穩(wěn)定的放電狀態(tài)。 通過這項(xiàng)新功能，通過在放電前控制輸出（點(diǎn)火操作），可以抑制放電開始時(shí)的瞬時(shí)高功率并實(shí)現(xiàn)放電穩(wěn)定。

DC10D20D_opution4.png

2.控制精度
高 這是一項(xiàng)實(shí)現(xiàn)高精度輸出到設(shè)定值和**連續(xù)重復(fù)性的功能。

對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)機(jī)器，設(shè)定輸出的保證值范圍在10~100%范圍內(nèi)，小于10%為非保修范圍，但對(duì)于添加此封裝的設(shè)備，保證值從1%開始保證。 此外，即使在上千次或幾萬次的重復(fù)過程中，輸出的變化也很小，可以保持高再現(xiàn)性。

DC10D20D_opution3.png

輸出重復(fù)性（σ：0.74W）

3. 高速電弧處理：
全新電弧控制功能，****的電弧截止時(shí)間為5μs

當(dāng)直流電源檢測(cè)到異常放電時(shí)，它會(huì)暫時(shí)關(guān)閉輸出，但如果中斷時(shí)間過長(zhǎng)，則可能無法恢復(fù)放電。
這種封裝功能可以*大限度地減少截止時(shí)間，便于放電維護(hù)，并穩(wěn)定過程。 此外，較短的截止時(shí)間可以預(yù)期縮短清洗沉積材料的預(yù)濺射時(shí)間。

4.性能優(yōu)越的ARC處理 直流
電源在檢測(cè)到異常放電后自行判斷異常放電水平并執(zhí)行*佳關(guān)機(jī)的功能

使用典型的直流電源時(shí)，只能設(shè)置一種關(guān)斷模式。 但是，封鎖往往不適合當(dāng)時(shí)的情況，后續(xù)的沉積工藝效率可能會(huì)降低，或者可能會(huì)立即再次發(fā)生異常放電，并可能重復(fù)封鎖。 這項(xiàng)新功能有望通過確定直流電源本身對(duì)異常放電的*佳攔截來降低異常放電的復(fù)發(fā)概率，并提高沉積過程的效率。
這些功能可以單獨(dú)添加到單個(gè)直流電源中，也可以添加到可以添加到任意數(shù)量的封裝中。 以后也可以將其添加到已在使用的隨附電源中。

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自動(dòng)確定ARC截止時(shí)間

尺寸圖

DC-10_20-D_size.png