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國內(nèi)總代原裝進(jìn)口南京有售日本ULVAC愛發(fā)科UNECS-1MW-030高速橢偏儀國內(nèi)各區(qū)域均有售 

高速橢圓光譜儀UNECS系列

ULVAC的高速光譜橢偏儀（UNECS系列）可以高速、高精度地測量薄膜的厚度和折射率。 采用獨(dú)特的測量方法，實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊性。 根據(jù)用途，我們有廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨(dú)特的便攜式型到自動載物臺型和可以集成到設(shè)備中的內(nèi)置型。

■高速測量 獨(dú)特的測量方法，沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，可以以*大20ms的速度進(jìn)行高速測量，并且可以在短時間內(nèi)測量重復(fù)測量和
多點(diǎn)分布測量。

■ 除了標(biāo)準(zhǔn)型（530 nm-750 nm）外，波長范圍還增加了可見光譜型（380 nm-760 nm），應(yīng)用范圍更廣。

■ 緊湊型傳感器單元發(fā)射光傳感器僅由一個光學(xué)元件組成，該元件沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，非常輕巧緊湊，不需要定期維護(hù)。

■ 豐富的產(chǎn)品陣容能夠處理各種用途，包括獨(dú)特的便攜式類型、手動/自動載物臺類型、大型基板類型和
內(nèi)置設(shè)備類型。

UNECS-1500M/UNECS-1500M-030/UNECS-1500MW/UNECS-1500MW-030

UNECS-1500A/UNECS-1500A-030/UNECS-1500AW/UNECS-1500AW-030/UNECS-2000A/UNECS-2000A-030/UNECS-2000AW/UNECS-2000AW-030/UNECS-3000A/UNECS-3000A-030/UNECS-3000AW/UNECS-3000AW-030

UNECS-1M型/UNECS-1M-030型/UNECS-1MW系列/UNECS-1MW-030型

UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。

采用獨(dú)特的測量方法，實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊性。

根據(jù)用途，我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨(dú)特的便攜式型到自動載物臺型以及支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。

UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。
采用獨(dú)特的測量方法，實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊性。
根據(jù)用途，我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨(dú)特的便攜式類型到自動載物臺類型和內(nèi)置設(shè)備類型。

UNECS-1M 采用輕巧緊湊的傳感器單元，易于集成。

長處

• 高速測量：
• 獨(dú)特的快照方式，實(shí)現(xiàn)高速測量，*高速度可達(dá)20ms。
• 可見光譜支持：
• 波長范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型（530nm~750nm）和可見光譜型（380nm~760nm）。
• 緊湊的傳感器單元：
• 發(fā)射光傳感器僅由一個光學(xué)元件組成，該元件沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，非常輕巧緊湊，不需要定期維護(hù)。
• 豐富的產(chǎn)品陣容：
• 我們提供適用于各種用途的產(chǎn)品陣容，包括獨(dú)特的便攜式類型、手動和自動載物臺類型、大型電路板和內(nèi)置設(shè)備
• 型。

• 用

• 透明或半透明薄膜（氧化物、氮化物、抗蝕劑、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰減系數(shù)的測定

  規(guī)范

  波長范圍		530~750nm、380~760nm（任選）
  光斑直徑		Φ1mm、Φ0.3mm（任選）
  入射角		70°固定
  薄膜厚度再現(xiàn)性		1σ = 0.1納米
  厚度范圍		1納米~2微米
  測量時間		光接收：20ms~3000ms 操作：300ms
  儀器配置		測量頭、控制箱、光源單元、使用說明書（CD）、分析軟件（CD） *控制PC不包括在規(guī)格中

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