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總供ULVAC愛發(fā)科高速橢偏儀自動(dòng)UNECS-1500A
產(chǎn)品型號(hào)： UNECS-1500A
產(chǎn)品品牌：ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品介紹：

ULVAC愛發(fā)科面向顯示器、太陽電池、半導(dǎo)體、電子、電氣、金屬、機(jī)械、汽車、化學(xué)、食品、醫(yī)藥等行業(yè)以及大學(xué)、研究所等，提供真空設(shè)備、周邊機(jī)器、真空部品、材料的開發(fā)、制造、銷售、客戶服務(wù)等，以及各種器械的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。此外，提供各種真空技術(shù)相關(guān)的研究指導(dǎo)和技術(shù)顧問服務(wù)。
詳細(xì)介紹

國內(nèi)總代原裝進(jìn)口總供ULVAC愛發(fā)科高速橢偏儀自動(dòng)UNECS-1500A  國內(nèi)各區(qū)域均有售 


高速橢圓光譜儀UNECS系列

ULVAC的高速光譜橢偏儀（UNECS系列）可以高速、高精度地測量薄膜的厚度和折射率。 采用獨(dú)特的測量方法，實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊性。 根據(jù)用途，我們有廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨(dú)特的便攜式型到自動(dòng)載物臺(tái)型和可以集成到設(shè)備中的內(nèi)置型。


■高速測量 獨(dú)特的測量方法，沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，可以以*大20ms的速度進(jìn)行高速測量，并且可以在短時(shí)間內(nèi)測量重復(fù)測量和
多點(diǎn)分布測量。
■ 除了標(biāo)準(zhǔn)型（530 nm-750 nm）外，波長范圍還增加了可見光譜型（380 nm-760 nm），應(yīng)用范圍更廣。
■ 緊湊型傳感器單元發(fā)射光傳感器僅由一個(gè)光學(xué)元件組成，該元件沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，非常輕巧緊湊，不需要定期維護(hù)。
■ 豐富的產(chǎn)品陣容能夠處理各種用途，包括獨(dú)特的便攜式類型、手動(dòng)/自動(dòng)載物臺(tái)類型、大型基板類型和
內(nèi)置設(shè)備類型。






UNECS-便攜式/UNECS-Portable-030/UNECS-PortableW/UNECS-PortableW


UNECS-1500M/UNECS-1500M-030/UNECS-1500MW/UNECS-1500MW-030

UNECS-1500A/UNECS-1500A-030/UNECS-1500AW/UNECS-1500AW-030/UNECS-2000A/UNECS-2000A-030/UNECS-2000AW/UNECS-2000AW-030/UNECS-3000A/UNECS-3000A-030/UNECS-3000AW/UNECS-3000AW-030

UNECS-1M型/UNECS-1M-030型/UNECS-1MW系列/UNECS-1MW-030型



UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。

采用獨(dú)特的測量方法，實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊性。

根據(jù)用途，我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨(dú)特的便攜式型到自動(dòng)載物臺(tái)型以及支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。


帶映射測量的自動(dòng)載物臺(tái)類型

UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。
采用獨(dú)特的測量方法，實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊性。
根據(jù)用途，我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨(dú)特的便攜式型到自動(dòng)載物臺(tái)型以及支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。

UNECS-1500A/2000A/3000A使用自動(dòng)R-theta載物臺(tái)和自動(dòng)對焦功能，可快速自動(dòng)測量基板表面的厚度分布，并將結(jié)果顯示在彩se圖中。


長處：


  • 高速測量：
  • 獨(dú)特的快照方式，實(shí)現(xiàn)高速測量，*高速度可達(dá)20ms。
  • 可見光譜支持：
  • 波長范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型（530nm~750nm）和可見光譜型（380nm~760nm）。
  • 緊湊的傳感器單元：
  • 發(fā)射光傳感器僅由一個(gè)光學(xué)元件組成，該元件沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，非常輕巧緊湊，不需要定期維護(hù)。
  • 豐富的產(chǎn)品陣容：
  • 提供獨(dú)特的便攜式、手動(dòng)和自動(dòng)載物臺(tái)、大型板型、大氣和真空環(huán)境的內(nèi)置設(shè)備等廣泛的用途。
  • 用：
  • 透明或半透明薄膜（氧化物、氮化物、抗蝕劑、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰減系數(shù)的測定
  • 規(guī)范：
    型 1500安培 2000安培 3000安培
    波長范圍 530~750nm、380~760nm（任選）
    光斑直徑 Φ1mm、Φ0.3mm（任選）
    入射角 70°固定
    薄膜厚度再現(xiàn)性 1σ = 0.1納米
    厚度范圍 1納米~2微米
    測量時(shí)間 光接收：20ms~3000ms 操作：300ms
    階段 Φ150mm自動(dòng) φ200mm自動(dòng) Φ300mm自動(dòng)
    自動(dòng)測量 200 積分 200 積分 2,000 積分
    控制電腦 筆記本型（帶操作和分析軟件）
    儀器配置 測量本體、控制器、操作電腦（筆記本電腦型）、使用說明書（CD）