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國內(nèi)總代HORIBA堀場在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ
產(chǎn)品型號: UVISEL Plus In-Situ
產(chǎn)品品牌:HORIBA堀場儀器
產(chǎn)品介紹:

HORIBA堀場集團向各行業(yè)領(lǐng)域提供高品質(zhì)的分析與測試儀器。我們的業(yè)務(wù)涉及汽車測試、科學(xué)儀器、過程和環(huán)境儀器、體外診斷和半導(dǎo)體儀器等。我們已在全球市場展示出自己的優(yōu)勢,尤其在汽車排放和煙道氣測量、空氣污染、水污染監(jiān)控、不同行業(yè)的質(zhì)控以及臨床診斷等領(lǐng)域。過去幾年來,我們?nèi)〉昧碎L足發(fā)展。讓我們感到高興和自豪的是,我們的分析和測量業(yè)務(wù)為全球的環(huán)保、**和健康事業(yè)做出貢獻,并為解決能源問題助一臂之力。

詳細介紹

HORIBA堀場集團向各行業(yè)領(lǐng)域提供高品質(zhì)的分析與測試儀器,49家分公司遍布全球27個國家。 

我們的業(yè)務(wù)涉及汽車測試、科學(xué)儀器、過程和環(huán)境儀器、體外診斷和半導(dǎo)體儀器等。我們已在全球市場展示出自己的優(yōu)勢,尤其在汽車排放和煙道氣測量、空氣污染、水污染監(jiān)控、不同行業(yè)的質(zhì)控以及臨床診斷等領(lǐng)域。過去幾年來,我們?nèi)〉昧碎L足發(fā)展。讓我們感到高興和自豪的是,我們的分析和測量業(yè)務(wù)為全球的環(huán)保、**和健康事業(yè)做出貢獻,并為解決能源問題助一臂之力。我認為正是這種自豪感促使我們提供更具競爭力的產(chǎn)品。 

擁有自豪感和勇于挑戰(zhàn)的精神,以充沛的體力和激情投入到工作中去,譜寫一個更加令人滿意的人生。我們將更加快樂過好每**的愿望融入企業(yè)哲學(xué),這一精神自企業(yè)創(chuàng)建以來一直代代相傳。遍布全球的大約7,000名堀場人(這樣稱呼的原因是我們把堀場集團的所有員工都看成是一家人)是我們企業(yè)發(fā)展的源泉,他們能夠正確理解“新奇、有趣”這一企業(yè)哲學(xué),并在日常工作和生活中很好地貫徹。 

我們將一如既往地以自豪的態(tài)度和勇于迎接挑戰(zhàn)的精神為社會做出貢獻。 

UVISEL Plus In-Situ


在線監(jiān)控橢偏儀

UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔(PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE),實時監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。

UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動態(tài)范圍寬和準確等優(yōu)點,使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕,即使過程速度比較快也可實現(xiàn)。

采用新型適配器組件可以實現(xiàn)臺式設(shè)備和在線系統(tǒng)的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅(qū)動,該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多先進的建模和擬合處理功能,操作界面簡單,可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。先進的通訊協(xié)議,TCP/IP和RS232已被設(shè)計用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM。

  • 高速、準確
  • 完整集成了實時測量、建模和報告軟件包
  • 便于在線和離線間切換

 

可獲得的信息

  • 薄膜厚度
  • 光學(xué)常數(shù)(n,k)
  • 材料組成
  • 光譜范圍:190-885 nm,可擴展至 190-2100 nm
  • 光源:75W氙燈或150W氙燈
  • 探測系統(tǒng):單點或?qū)崟r光譜采集使用高靈敏度,寬動態(tài)范圍的PMT探測器和掃描單色儀,原位監(jiān)控薄膜沉積/蝕刻
  • 光斑尺寸@300:50μm , 100μm & 1mm
  • 機械適配器:CF35或KF40法蘭