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日本TORAY東麗 測量和分析設備


半導體和電子元件

半導體制造過程中的氧氣污染對產(chǎn)品和產(chǎn)品的質(zhì)量有重大影響。 因此，監(jiān)測設備中大氣氣體的血氧儀對于前端和后處理都是必不可少的。
我們的血氧儀，尤其是即使在真空環(huán)境中也能進行測量的傳感器分離產(chǎn)品，結(jié)合了強大的功能和節(jié)省空間，可實現(xiàn)超快速響應和多點測量，并被許多主要設備制造商使用。

氧化鋯血氧儀

LD-450/SD 傳感器
小于 10 頁/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
負壓/大氣壓
直流電源
模擬輸出
串行通信輸出
CE 標志
可節(jié)省安裝空間
可選擇模擬輸出或串行通信輸出
適用于真空環(huán)境
超快響應
使用具有
特殊涂層的高耐用性傳感器

氧化鋯 EtherCAT 血氧儀
LD-600/SD 傳感器
小于 10 頁/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
負壓/大氣壓
直流電源
EtherCAT 技術
CE 標志
可以進行 EtherCAT 通信
兼容真空氣氛
超快響應
使用具有
特殊涂層的高耐用性傳感器



氧化鋯多點血氧儀
MS-500/MS-510/SD 傳感器
小于 10 頁/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
負壓/大氣壓
直流電源
串行通信輸出
CE 標志
*多可同時測量 8 個點
還支持可選的 LAN 輸出。
適用于真空環(huán)境
超快響應
使用具有

特殊涂層的高耐用性傳感器





氧化鋯血氧儀
LC-450A
小于 10 頁/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
AC 電源
模擬輸出
串行通信輸出
CE 標志
可在較寬的濃度范圍內(nèi)進行測量
提高傳感器耐用性
AC100~240V 寬幅電源
模擬輸出：4-20mA
結(jié)構(gòu)緊湊，易于安裝


氧化鋯血氧儀
LC-450D
小于 10 頁/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
直流電源
模擬輸出
串行通信輸出
CE 標志
可在較寬的濃度范圍內(nèi)進行測量
提高傳感器耐用性
DC24V 電源
模擬輸出：0-10V
結(jié)構(gòu)緊湊，易于安裝

氧化鋯血氧儀LC-860

小于 10 頁/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
AC 電源
模擬輸出
串行通信輸出
CE 標志
可在較寬的濃度范圍內(nèi)進行測量
使用特定功能的按鍵輕松操作
高可靠性傳感器
自動量程功能
內(nèi)置遠程泵操作功能




氧化鋯血氧儀
LC-750L 系列 （低濃度用）
小于 10 頁/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
AC 電源
模擬輸出
低濃度測量
適用于清潔氣體測量
通過手動范圍切換進行簡單設置

氧化鋯血氧儀
RF-400-01
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
AC 電源
模擬輸出
串行通信輸出
CE 標志
兩種類型的過濾器可捕獲油、助焊劑、硅、鹵素等。
AC100~240V 寬幅電源
10ppm ~ 100% 的寬測量范圍
標配 RS-232C 通信

氧化鋯血氧儀
RF-400 *已停產(chǎn)
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
AC 電源
模擬輸出
串行通信輸出
兩種類型的過濾器可捕獲油、助焊劑、硅、鹵素等。
AC100~240V 寬幅電源
10ppm ~ 100% 的寬測量范圍