Mikasa Co.， Ltd. 作為一家對社會(huì)有貢獻(xiàn)且值得信賴的公司，開發(fā)和銷售半導(dǎo)體制造設(shè)備、檢查和測量設(shè)備。 通過這一點(diǎn)，我們將努力保護(hù)環(huán)境和減少環(huán)境影響，以成為一家環(huán)保型公司為目標(biāo)，我們將做出以下努力。我們將努力保護(hù)地球環(huán)境、防止污染和保護(hù)環(huán)境，并不斷改進(jìn)我們的環(huán)境管理體系。我們將遵守與環(huán)境相關(guān)的法律法規(guī)，以及我們同意的其他要求，以及我們選擇的要求。我們將系統(tǒng)地采取行動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)我們的環(huán)境目標(biāo)。 此外，我們將定期審查我們的環(huán)境目標(biāo)。在我們的業(yè)務(wù)活動(dòng)中，我們將努力節(jié)約資源和能源，減少對環(huán)境的影響，并保護(hù)環(huán)境。為了遵守本環(huán)境政策，我們將努力對所有董事和員工進(jìn)行徹底的教育。我們將在內(nèi)部和外部披露此環(huán)境政策。
Mikasa Co.， Ltd.
總裁 Yasuhiro Asano
PCB的常見問題
1.在*大樣品量下，可以使用多厚的基材？
至于厚度，每個(gè)型號的*大兼容板尺寸假設(shè)為 2 mm 左右。 如需厚度為 2 mm 或更大的電路板，請聯(lián)系我們。
2.是否可以將旋涂機(jī)應(yīng)用于硅晶片以外的物體？
我們在玻璃、膠片、鏡頭、光盤等方面都有良好的記錄。
3.關(guān)于電路板的定心方法。
由于樣品臺(tái)的制造使其與基板的尺寸相同，因此如果外部形狀匹配，則可以對中對于 MS-A100 以外的型號，可選擇對中夾具（對接）。
4.在旋涂過程中，我在繞過電路板背面時(shí)遇到問題。 有沒有對策？
它可以通過反沖洗來處理。 雖然它是一個(gè)可選機(jī)制，但 MS-B150、MS-B200 和 MS-B300 可以支持它。 請聯(lián)系我們了解詳情。
5.可以涂覆水溶性溶劑嗎？
還有與基材的粘附問題，因此請先與我們聯(lián)系。
6.在將光刻膠涂到基材上之前，需要做什么嗎？
● HMDS 處理：通用。 這是一種使晶片表面疏水的處理。
● 通過蝕刻去除氧化膜：這是用強(qiáng)酸在晶片上蝕刻氧化硅膜的過程。
● 準(zhǔn)分子處理：這是一種通過去除基板表面的有機(jī)物并利用短波長紫外線能量和產(chǎn)生的臭氧對表面進(jìn)行親水處理來提高玻璃基板表面附著力的處理。
樣品架（卡盤支架）
1.是否有標(biāo)準(zhǔn)的樣品臺(tái)（卡盤支架）？ 交貨時(shí)間是多長時(shí)間？
提供 MS-B100、MS-B150 和 MS-B200 的標(biāo)準(zhǔn)樣品架。 如果尺寸不符合標(biāo)準(zhǔn)樣品表，我們將根據(jù)基材尺寸建議樣品臺(tái)。 它也可以與 MS-A 系列一起使用。 標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)的交貨時(shí)間約為一周。
有關(guān)樣品臺(tái)類型的詳細(xì)信息， 請聯(lián)系我們了解詳情。
2.哪些類型的樣品架（卡盤支架）可以與可用于方形 （□） 和圓形 （Φ） 以外的基材的旋涂機(jī)一起使用？
我們還擁有生產(chǎn)用于切割基板、變形基板、薄膜、載玻片和圓盤的樣品架（卡盤支架）的記錄。 我們將根據(jù)客戶使用的基板尺寸引導(dǎo)您前往樣品臺(tái)（卡盤支架）。 請隨時(shí)與我們聯(lián)系。
3.將基板固定在旋涂機(jī)的樣品臺(tái)（卡盤支架）中的方法是什么？
基本方法是真空吸附。
還有溝式和小孔型吸附法。 我們根據(jù)基板的形狀、厚度和薄膜厚度等信息提出建議。
也可以使用機(jī)械卡盤方法，但在這種情況下，不能使用真空聯(lián)鎖功能。
此外，我們根據(jù)您的愿望和應(yīng)用，提出了一種不吸附中心的外周吸附方法、O 形圈吸附方法等。
4.旋涂機(jī)樣品臺(tái)（卡盤支架）有哪些不同類型的材料？
基本上，軸由 POM 制成，吸入表面由鋁制成。
此外，還提供 POM 和 Teflon。
對于其他材料 [不銹鋼、PEEK、PVC]，請隨時(shí)與我們聯(lián)系。
5.旋涂機(jī)的卡盤支架是否與所有型號兼容？
主機(jī)和樣品架的插入直徑因型號而異。 如果是后繼型號，則兼容。
后續(xù)模型如下。
● 1H-D7 ? MS-A100 ? MS-B100
● 1H-DX2 ? MS-A150 ? MS-B150
● 1H-360S ? MS-A200 ? MS-B200
● MS-A300 ? MS-B300
● 1H-700C ? MS-A500
不同材質(zhì)的樣品臺(tái)（卡盤支架）有哪些優(yōu)缺點(diǎn)？
■ 由鋁制成
優(yōu)點(diǎn)：由于是金屬，比樹脂更容易加工，并且可以在吸附表面的表面精度（平整度）下進(jìn)行加工。 此外，由于它是金屬，因此具有出色的耐用性。 它可以以相對較低的成本生產(chǎn)。
缺點(diǎn)：由于其導(dǎo)熱性高，在連續(xù)運(yùn)行的情況下，電機(jī)產(chǎn)生的熱量可能會(huì)影響薄膜的沉積。 由于比重比 POM 和特氟龍重，因此當(dāng)比重變大時(shí)，會(huì)產(chǎn)生加減速性能下降等效果。
■ 由 POM 制成
優(yōu)點(diǎn)：由于是*接近金屬的樹脂，因此具有良好的可加工性，并且易于達(dá)到表面精度（平整度）。 機(jī)械抗疲勞性。 由于它是一種接近金屬的樹脂，因此具有出色的耐用性和低導(dǎo)熱性。 它比特氟龍便宜。
缺點(diǎn)： 它不耐丙酮等有機(jī)溶劑，易受熱并膨脹。 與特氟龍相比，它的耐化學(xué)性較差。
■ 由特氟龍制成
優(yōu)點(diǎn)：優(yōu)異的耐化學(xué)性和對大多數(shù)化學(xué)品的抵抗力。 它還具有出色的耐熱性，并且在應(yīng)用以及不粘和低磨損方面用途廣泛。
缺點(diǎn)：昂貴。 它在機(jī)械上很脆，容易受到?jīng)_擊。 由于比重大，加減速性能降低。 比鋁重。 與鋁和 POM 相比，它更柔軟，因此在表面精度（平整度）方面較差。
如何為旋涂機(jī)選擇樣品架（卡盤支架）的材料
■ 由鋁制成
● 便宜的樣品臺(tái)。
● 如果您擔(dān)心吸附面的表面精度。
■ 由 POM 制成
● 我不想損壞背面。
● 當(dāng)使用的基板尺寸成為設(shè)備的 MAX 尺寸，樣品臺(tái)變得又大又重時(shí)。
● 如果您擔(dān)心熱傳導(dǎo)。 （當(dāng)溶劑高度揮發(fā)或受薄膜引起的溫度變化影響時(shí)）
■ 由特氟龍制成
● 使用多種不同性能的涂料溶液。
● 使用有機(jī)溶劑。
● 我不想損壞背面。
● 熱傳導(dǎo)是一個(gè)問題。 （當(dāng)溶劑高度揮發(fā)或受薄膜引起的溫度變化影響時(shí)）
安裝旋涂機(jī)需要哪些實(shí)用程序？
主機(jī)和真空泵都需要 100V 和 200V，具體取決于型號。 此外，如果安裝了可選的滴水裝置，則需要干燥空氣和 N2（氮?dú)猓?/span>
需要真空泵才能使用旋涂機(jī)嗎？
您將需要一個(gè)真空泵，但如果您可以從工廠真空管路連接它，您就可以沒有它。 此外，在機(jī)械卡盤式的情況下沒有必要，在這種情況下無法使用真空聯(lián)鎖功能。 請聯(lián)系我們了解詳情。