FEATURES
シリコンウェーハ業(yè)界における汚染回収技術(shù)の問題とその解決方法という流れで、 當(dāng)社製品の特長をご紹介いたします。
従來の問題
エッジ汚染回収技術(shù)
特開平11-204604
C.Sparks et. Al., Proceedings of SPINE vol.5041(2003)pp.99.
問題點(diǎn)
當(dāng)社にて、従來の回収裝置(水平回転型)に適用可能で、 かつ必要液量が少ない回収治具を開発致しました。
當(dāng)社製品の特長による解決方法
表面張力を利用したエッジ回収治具
エッジ回収の実際