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Hitachi Metals, Ltd 日立金屬株式會社:半導(dǎo)體流量計

Hitachi Metals, Ltd 日立金屬株式會社:半導(dǎo)體流量計

Hitachi Metals, Ltd 日立金
屬,成立于1910年,主要制品有金屬材料,磁性材料,電源開關(guān),流量計等產(chǎn)品系列

流量計型號SAM SFC280E. SFC380 SAM SFC1480FX/SFC2480FC等型號
致力于研究和生產(chǎn)用于先進工藝的流體控制/測量產(chǎn)品,產(chǎn)品主要包括質(zhì)量流量控制器(MFC),質(zhì)量流量計(MFM),材料蒸發(fā)系統(tǒng)(Vaporizer)等,并在這些領(lǐng)域內(nèi)始終處于國際**地位。公司位于高新科技園長城計算機集團院內(nèi),位置優(yōu)越,環(huán)境優(yōu)美,交通便利,現(xiàn)代化的辦公樓及廠房設(shè)施,1000平方米的全空調(diào)無塵生產(chǎn)車間,為每一位公司員工提供了輕松、愉悅的工作環(huán)境。


Hitachi日立金屬半導(dǎo)體流量計:

Hitachi日立金屬質(zhì)量流量控制器是在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中的成膜、蝕刻等供氣系統(tǒng)中緊密控制氣體流量的裝置。本公司的產(chǎn)品在閥門上搭載使用自己開發(fā)的Ni-Co合金的波形隔膜,對于流體接觸的所有部分采用了金屬密封的潔凈結(jié)構(gòu),結(jié)合各種用途備齊了豐富的產(chǎn)品系列。今后,我們也將為應(yīng)對不斷發(fā)展進步的半導(dǎo)體工藝的要求,推出高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器,為半導(dǎo)體的制造技術(shù)的發(fā)展做貢獻。


Hitachi日立金屬流量計:又分為有差壓式流量計、轉(zhuǎn)子流量計、Hitachi日立金屬節(jié)流式流量計、細縫流量計、Hitachi日立金屬容積流量計、電磁流量計、超聲波流量計等。按介質(zhì)分類:液體流量計和氣體流量計。常用的流量計中,如孔板流量計、層流質(zhì)量流量計、渦輪流量計、渦街流量計、Hitachi日立金屬電磁流量計、轉(zhuǎn)子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。


Hitachi日立金屬流量計Aera®
  Mass Flow Controllers Aera®Hitachi日立金屬 FC-R7700 series(PDF格式)  
  Mass Flow Controllers Aera® Hitachi日立金屬FC-R7800 series(PDF格式)  
  Digital Mass Flow Products Aera® Hitachi日立金屬Transformer®(PDF格式)  
  Pressure Insensitive (PI) Mass Flow Hitachi日立金屬Controller Aera® HG200 series(PDF格式)  
  Pressure controller EPC100 series
  Vaporizer AS series

Hitachi日立金屬流量計SAM®
  Mass Flow Controllers SAM® Hitachi日立金屬SFC1480/2480FX sereies (Preparing Catalog) 
  Mass Flow Controllers SAM® Hitachi日立金屬1480/2480G series (Preparing Catalog) 
  Mass Flow Controllers SAM® Hitachi日立金屬PS200 series (Preparing Catalog) 

                                                                                        Hitachi Metals, Ltd 日立金屬株式會社:半導(dǎo)體流量計代理商