智能型多功能橢偏儀//Auto SE - 自動化薄膜測量工具一鍵式全自動快速橢偏儀//UVISEL PLUS橢圓偏振光譜儀研究級經(jīng)典型橢偏儀//UVISEL 2 VUV真空紫外橢偏儀
橢圓偏振光譜是一種無損無接觸的光學(xué)測量技術(shù)，基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。而且，橢圓偏振光譜既能夠?qū)崿F(xiàn)在線監(jiān)測又能進(jìn)行原位測試，可根據(jù)各類不同的應(yīng)用需要提供靜態(tài)和動態(tài)測量模式，應(yīng)用非常廣泛。
橢圓偏振光譜儀可以測量橢偏角ψ 和 Δ 這兩個可以描述線偏振光經(jīng)過薄膜反射后的橢圓偏振光的狀態(tài)變化的參數(shù)。ψ 和Δ 與菲涅爾反射系數(shù)相關(guān)，滿足方程ρ=tanψeiΔ= rp/rs 。
測量得到ψ 和Δ 后，必須建立一個薄膜的模型來確定厚度或者光學(xué)常數(shù)。
通常，一個角度可以滿足大多數(shù)應(yīng)用的需求。如果樣品非常薄，應(yīng)該選擇接近基底布儒斷特角的角度系試，從而獲得*好的靈敏度和準(zhǔn)確性。對于其他大多數(shù)樣品，將入射角沒為70（接近硅基底的布儒斷特角）就足夠了，不需要考慮基莊的布偶斯特角。
背反射可以在測試前機(jī)械阻擋或者測試后采用數(shù)學(xué)方法處理。測試前，將樣品背面粗糙化或者擋住背反射的光線，也可以選用較小的光斑使得**次反射的光與背反射分離，不收集背反射信號。如果沒有去除背反射，測試結(jié)果中就包含了背反射信號，這就需要在擬合過程中考慮此因素。 HORIBA的 DeltaPsi 2專業(yè)軟件可以很容易在擬合過程中考慮背反射的影響，從而在有反射的情況下得到準(zhǔn)確結(jié)果。
可以。如果您將系統(tǒng)的手動或者自動量角器調(diào)整到 90°，可以用橢圓偏振光譜儀測試垂直入射時的透射率或者傾斜時的反射率。如果系統(tǒng)入射角是困定的，您只能測試該角度的反射率，或者采用透射附件得透射率。假如，您需要測試接近90°的反射率，我們可以提供反射模塊案完成。
可以。通常您能測試45°-75°間任何角度的反射率數(shù)據(jù)，而無法測試接近0*的反射率。如現(xiàn)使用反射附件，就可以對接近 O°的反射率進(jìn)行表征了。
HORBA為不同類型的測試提供了多類附件。例如：
一般來說，對于簡單的單層薄膜， χ2 的值在1左右就足夠好了，如果樣品更加復(fù)雜， χ2 的值會增加，只要其他結(jié)果符合物理意義，此類樣品的 χ2 值達(dá)到10或者更高也沒有問題。需要注意的是即使 χ2 值很小，結(jié)果也可能不正確，必須對其他標(biāo)準(zhǔn)也進(jìn)行檢查確認(rèn)。
如果發(fā)現(xiàn)結(jié)果有很強(qiáng)相關(guān)性，應(yīng)該添加額外的數(shù)據(jù)修正，無論是在不同入射角度或者反射/透射條件下采集的數(shù)據(jù)均可。還應(yīng)該檢查哪一個參數(shù)是關(guān)聯(lián)的，它們是否都需要同時擬合，如果不需要，可以固定某一個參數(shù)，使模型更加合理。
每一個色散公式都對應(yīng)用于某一類材料。例如，Drude色散公式常用于金屬薄模，洛倫茲色散公式常用于透明的或者弱吸收的薄膜，DeltaPsi 2軟件中有一系列的色散公式，您還可以通過閱讀我們網(wǎng)站上DeltaPsi 2的技術(shù)報告來了解更多色散公式的知識。
*常用的色散公式包括用于透明或弱吸收的樣品的 Cauchy和Lorentz(Classical) 公式，用于半透明材料的 amorphous，new amorphous 和Tauc-Lorentz 公式（介電材料、高分子、半導(dǎo)體可見/近紫外吸收），以及用于金屬的 Drude公式。