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Hitachi Metals質(zhì)量流量控制器,氣體流量計(jì)

Hitachi Metals質(zhì)量流量控制器,氣體流量計(jì)

Hitachi Metals
質(zhì)量流量控制器是在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中的成膜、蝕刻等供氣系統(tǒng)中緊密控制氣體流量的裝置。本公司的產(chǎn)品在閥門上搭載使用自己開(kāi)發(fā)的Ni-Co合金的波形隔膜,對(duì)于流體接觸的所有部分采用了金屬密封的潔凈結(jié)構(gòu),結(jié)合各種用途備齊了豐富的產(chǎn)品系列。今后,我們也將為應(yīng)對(duì)不斷發(fā)展進(jìn)步的半導(dǎo)體工藝的要求,推出高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器,為半導(dǎo)體的制造技術(shù)的發(fā)展做貢獻(xiàn)。



Aera

 Mass Flow Controllers Aera® FC-R7700 series(PDF格式)  

  Mass Flow Controllers Aera® FC-R7800 series(PDF格式)  

  Digital Mass Flow Products Aera® Transformer®(PDF格式)  

  Pressure Insensitive (PI) Mass Flow Controller Aera® HG200 series(PDF格式)  

 

  Pressure controller EPC100 series

  Vaporizer AS series

SAM

Mass Flow Controllers SAM® SFC1480/2480FX sereies (Preparing Catalog) 
  Mass Flow Controllers SAM® 1480/2480G series (Preparing Catalog) 
  Mass Flow Controllers SAM® PS200 series (Preparing Catalog)